直讀光譜儀是很敏感的，可能一個(gè)小小的誤差帶來(lái)的結果大不相同。誤差的來(lái)源分析試樣和標準樣品的組織狀態(tài)不同。在做固體金屬材料分析時(shí)，分析試樣和標準樣品的組織狀態(tài)不同是經(jīng)常存在的，因為組織結構的不同，在光電直讀光譜分析中某些元素測定的結果也不盡相同，從而引人了系統誤差。試樣中除基體元素和分析元素以外的其他元素干擾。若標樣和試樣中的第三元素的含量和化學(xué)組成不完全相同，亦有可能引起基體線(xiàn)和分析線(xiàn)的強度改變，從而引人系統誤差。
光譜標樣在化學(xué)分析定值時(shí)帶來(lái)的系統誤差，未知元素譜線(xiàn)的重疊干擾。氬氣不純。當氬氣中含有氧和水蒸氣時(shí)，使激發(fā)斑點(diǎn)變壞；或氬氣管道與電架有污染物排不出去，或有濁漏時(shí)，使分析結果變差，從而引人系統誤差，鎢電的影響。鎢電的頂尖應當具有一定角度使光軸不得偏離中心，放電間隙應當保持不變，否則聚焦在分光儀的譜線(xiàn)強度會(huì )改變。如:重復放電以后，鎢電會(huì )長(cháng)尖，改變了間隙放電距離;激發(fā)產(chǎn)生的金屬蒸氣也會(huì )污染透鏡表面，它們都能引人系統誤差。所以必須每激發(fā)一次后就要用刷子清理電。
透鏡的影響。由于鉛污染大，易產(chǎn)生鉛蒸汽和鉛灰塵，透鏡內外表面很容易受到污染。使透過(guò)率明顯的降低，從而降低了譜線(xiàn)的強度，進(jìn)而使工作曲線(xiàn)的斜率降低，所以聚光鏡要進(jìn)行定期清理。電源電壓的影響。電源電壓的變化容易引起激發(fā)單元放電電壓的改變，電源電壓波動(dòng)要求在10寫(xiě)以?xún)?。分析過(guò)程中，工作條件等的變化沒(méi)有覺(jué)察出來(lái)，也會(huì )產(chǎn)生系統誤差。
偶然誤差的來(lái)源：
(1)試樣成分不均勻。因為光電光譜分析所消耗的樣品很少，樣品中元素分布的不均勻性、組織結構的不均勻性，導致不同部位的分析結果不同。不均勻性的主要原因是:合金攪拌不均勻，試樣在取樣冷卻過(guò)程中存在缺陷。
(2)試樣表面不平整。當試樣放在電激發(fā)臺上時(shí)，不能有漏氣現象。如有漏氣，激發(fā)光室氣壓不穩定，激發(fā)試樣的聲音也不正常，激發(fā)斑點(diǎn)變白，影響分析結果。
(3)分析樣品與控制標樣操作不一致。
(4)試樣不具備一定代表性。如有偏析、裂紋、氣孔等缺陷。 只有清楚的認識到儀器產(chǎn)生誤差的來(lái)由才能去消除誤差，更準的運用好儀器，保證提供準確的分析數據。
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